二氧化碳发泡机
产品描述
本机适用范围
二氧化碳发泡机又称超纯水抗静电装置、超纯水电阻率调节装置，是半导体切割工序的必备设备。在半导体行业生产中，使用超纯水有助于提高产品良率，但超纯水具有很高的电阻率，因此也容易在产品表面产生静电，对产品造成伤害。二氧化碳发泡机就是为了解决这一问题而研制的，向高电阻率的超纯水中添加二氧化碳来降低超纯水的电阻率，从而防止在划片和清洗制程中产生静电而损伤产品。
本机特点
本设备结构紧凑，占地面积小;
安装方便、操作简单、性能稳定、故障率低;
有效防止静电破坏产品，提高良率，降低企业生产成本;
超纯水电阻率可方便精准地设定在0.22MQ.cm范围内;
电阻率超出设定范围时，报警灯和蜂鸣器提示;
规格参数
| 型号 | COII-2000L/H | COII-3500L/H |
| 纯水压力 | 0.3~0.5MPa | 0.3~0.5MPa |
| 纯水温度 | 5~35ºC | 5~35ºC |
| 供水能力 | 300~ 2000L/H | 300~3500L/H |
| 电源 | 单相AC 220 | 单相AC 220 |
| 功率 | ≤80W | ≤90W |
| 供水能力 | 526* 410* 1156mm | 526* 410* 1156mm |
| 重量 | ≤45kg | ≤50kg |
