切割液注入机
产品描述
本机适用范围
BADS系列切割液注入机专为半导体行业设计，是用来满足晶圆清洗药水的自动补给设备，通过注液泵将切割液按照一定比例输送至切割机，根据容户不同需求，最多可同时为4合切割机同时提供切割液。
本机特点
- 本设备采用进口注液泵，运行稳定，使用寿命长;
- 机箱采用半导体行业环保材料;
- 可选配注液泵流量检测仪。
规格参数
| 型号 | BADS-1 | BADS-2 | BADS-4 |
| 输入电压 | 单相AC 220V | 单相AC220V | 单相AC 220V |
| 频率 | 50/60Hz | 50/60Hz | 50/60Hz |
| 注液泵速率 | 2L/H最大 | 2L/H最大 | 2L/H最大 |
| 液位限制 | 磁浮开关 | 磁浮开关 | 磁浮开关 |
| 水压(去离子水) | 5KG/cm2最大 | 5KG/cm2最大 | 5KG/cm2最大 |
| 储液室容量 | 1 gal | 20 gal | 20 gal |
| 尺寸W*D*H | 250*400* 300mm | 460*6 10*950mm | 460*610*950mm |
