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e10
产品61

手动减薄(BG)贴膜机

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产品61
产品描述

本机适用范围
BG系列手动贴膜机是专门用于晶圆研磨前的贴膜工序;
适用保护膜可兼容蓝膜、UV膜、PET 衬底膜及其它单/双层膜。

 

 本机特点

  •  本设备采用精密导轨,进口温控系统,使机器整体性能稳定,操作方便高效。
  • 防静电特氟龙处理的工作盘、防静电滚轮材质、去静电离子风棒三重防护可有效防止芯片受到静电损伤。
  • 工作盘具有加热功能,使膜的粘着力更强。
  • 滚轮的压力可通过调节气压调节、恒定可控,贴膜更平整。
  • 配备圆周刀和横切刀,采用进口刀片,寿命更长。
  • 无需更换工作盘,通过旋钮开关即可转换不同尺寸产品的贴膜。
  • 圆周刀具有加热功能,能够更好的割膜。
  • 上翻盖有液压弹簧支撑,操作省力,安全。
  • 客户可选配手动揭膜功能,作为手动揭膜台用 

 

与同类设备优势

  1. 采用电子方式控制贴膜滚轮的压紧和松开,比传统行程开关控制更可靠,寿命更长。
  2. 隐藏的膜预张紧结构,可使贴膜更平整,无气泡。
  3. 圆切割刀切割方式改进,增加了气动装置控制割刀位置,保证了切割始终贴着硅片边缘,尤其解决了带直边硅片切割不净的弊端。


 

规格参数

型号 BG - 100 BG-200 BG-300 备注
适用产品尺寸(Inch) 4-6 4-6-8  8-12 可定制特殊品
应膜的种类 UV膜、蓝膜 UV膜、蓝膜 UV膜、蓝膜 选配
台盘加热范围(°C) 室温~80 室温~80 室温~80  
机器尺寸(mm) 400*900*350 430* 900*350 900*1000* 600  
电源(V) 单相AC 220 单相AC 220 单相AC 220 可定制AC100V
压缩空气(MPa) 0.5~0.8 0.5~0.8  0.5~0.8  
设备重量(KG) 90 90 120  
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